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pg电子模拟器 com:姑苏迅微纳半导体科技请求电容式薄膜真空计专利能使电容式薄膜真空计的温度快速到达稳态
产品描述
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金融界2024年11月21日音讯，国家知识产权局信息数据显现，姑苏迅微纳半导体科技有限公司请求一项名为“一种电容式薄膜真空计”的专利，公开号 CN 118980451 A，请求日期为2024年8月。
专利摘要显现，本发明提醒一种电容式薄膜真空计，其包含外壳、金属薄膜压力感应单元、榜首加热组件、第二加热组件和温度操控单元。外壳包含内壁和由内壁围设构成的收留空间。金属薄膜压力感应单元悬置于收留空间中。榜首加热组件包含设置于内壁的榜首加热单元和榜首测温单元。第二加热组件包含设置于金属薄膜压力感应单元的第二加热单元和第二测温单元。温度操控单元衔接第加热组件和第二加热组件温度操控单元经过第测温单元和第二测温单元操控榜首加热单元和第二加热单元。榜首加热单元和第二加热单元经过二级加热，能使电容式薄膜真空计的温度快速到达稳态，进步功率，提高检测精度。
